當我們不是特別熟練光譜儀時，會遇到有時候機器狀態很好，關于樣品的激發也是很正常的。但就是報出來的分析數據沒有把握，這是因為主要還是對于數據的分析把我的不好，一些問題沒有注意到。那我們應該怎么就主要就有效數據的判定依據進行詳細的討論。
分析樣品時，對每一個數據都要判定是否有效，有效數據保留，無效數據刪除。常用的判定的方法，是看元素數據的變化是否小于3%。這種判定方法是不太準確的。因為元素的高、低不同含量，分析誤差是有很大差別的。而且這種判定方法操作時不直觀、不方便。
有效數據的判定的依據應該是rsd值，每次測量計算機會自動計算出來，直觀且方便。rsd值表示的是相對標準差，也就是儀器的測量精度，rsd越小表示多次測定的結果之間越接近，平均值就越接近實際值。（rsd值表示的是百分數值，0.5表示0.5﹪）。
影響rsd值有三個因素：
1）儀器精度：高質量光譜儀的測量重現性好，數據的離散性小，精度就高。質量一般的光譜儀重現性差，數據離散性大，精度就差。例如：對于2%含量的元素，高精度的儀器，測量數據可以在±0.01，rsd值可以做到0.45。質量一般的光譜儀，測量數據可能在±0.02，rsd值只有0.89。
2）分析元素基本含量：因為rsd值的計算是標準差sd值與平均值的比值乘100得到的，同樣的偏差值，含量高的元素rsd值就小，反之含量低的元素rsd值就大。例如：同樣是0.02的偏差值，對于大于1﹪的元素rsd值可以﹤1﹪；含量小于1﹪的元素rsd值2～6；含量小于0.1﹪的元素rsd值就高達20多。
3）樣品的狀態：成分的均勻情況、樣品缺陷和雜質的影響、樣品制備好壞等因素，都會測使試數據的rsd值增大。
